歩留り改善について_16 ～可視化する～

緑の光はパーティクルが見えやすい

目視では見えるサイズに限界があります。

顕微鏡で見るにも、視野が狭いため広範囲を見るには大変な労力が必要になります。

そこでグリーンライトを使って小さい傷やパーティクルなどを見えるようにします。

緑の波長が小さい凹凸に対しては一番視認性が良く、目視では見えないものまで見えるようになります。

フラットな面であれば、だいだい10ミクロン前後のものまで目視で確認可能です。

傷や汚れもはるかに見えるようになります。

また、部屋を暗くして、グリーンライトで照らせば、埃や粉じんもよく見えるます。

これによって、広範囲の面で汚れている場所を確認することができます。

その後、顕微鏡などでさらに倍率を拡大して観察すればよいのです。

強力な光源にグリーンのフィルターを付けたクリーンルーム用ライトなどが有名です。

ネットで探してみて下さい。